Development of ceramic turbomolecular pumps for fusion devices

核融合装置用セラミックターボ分子ポンプの開発

Abe, Tetsuya; Murakami, Yoshio; not registered; not registered; not registered

磁場閉じ込型核融合装置で使用できる耐磁場、耐放射線性を有するセラミックターボ分子ポンプの開発を行なった。このポンプは回転部をすべて窒化珪素(Si $_{3}$ N $_{4}$ )セラミックスで製作しており、しかもガスベアリング、ガスタービン駆動、非接触ネジシールから構成されている。今までに80l/s(排気速度)の小型セラミックポンプの開発を終え、今回は回転翼(Si $_{3}$ N $_{4}$ )直径210mm、回転数25000rpmの中型セラミックポンプを試作し、各種の試験を実施した。その結果、排気速度500l/s、到達圧力410 $^{-7}$ Paの性能を得た。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Vacuum
巻	:	41
号	:	7-9
ページ数	:	p.1992 - 1994
発行年月	:	1990/00
発表会議名	:	11th Int. Vacuum Congress
開催年月	:	1989/09
開催都市	:	West Germany
開催国	:
キーワード	:	Ceramics; Si $_{3}$ N $_{4}$ ; Turbo Molecular Pump; Experimetal; Fusion Devices; Vacuum

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0042-207X(90)94154-I
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：43.56 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : B19890141
抄録集掲載番号 : 190444
論文投稿番号 : 10353

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