Kamiya, Tomihiro; not registered; Tanaka, Ryuichi
宇宙空間で使用される半導体素子のシングルイベント効果の基礎的な機構を解明するために、原研3MVタンデム加速器のビームライン上に重イオンマイクロビーム装置が設置された。本装置は、2連四重極レンズを用いてNi
15MeVのような高エネルギー重イオンを集束し、スキャナーによって高精度に位置制御されたターゲットステージにセットされた試料にマイクロビームをスキャンするように設計されている。これによって我々は1
m以下のビームスポットサイズと、試料におけるビームのヒット位置精度を1m以下にすることを目指している。さらに、イオンを1個1個制御して試料とヒットさせるために、シングルイオン検出系と高速ビームスイッチの組合せによるシングルイオンヒットシステムの開発を行っている。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
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号 |
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ページ数 |
: | p.112 - 117 |
発行年月 |
: | 1992/00 |
発表会議名 |
: | International Workshop on Radiation Effects of Semiconductor Devices for Space Application |
開催年月 |
: | 1992/02 |
開催都市 |
: | Tokasaki |
開催国 |
: | Japan |
キーワード |
: | 宇宙; 半導体素子; シングルイベント効果; 原研3MVタンデム; 重イオン; マイクロビーム; 2連4重極レンズ; ビームスポットサイズ; 位置精度; シングルイオンヒット |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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