Excimer laser irradiation effects on fluoropolymer and aromatic polymer

フッ素系および芳香族系高分子のエキシマレーザー光照射効果

河西 俊一; 杉本 俊一; 清水 雄一; 鈴木 伸武

Kawanishi, Shunichi; Sugimoto, Shunichi; Shimizu, Yuichi; Suzuki, Nobutake

エキシマレーザーからの高出力紫外光照射によるエチレンテトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)とポリエーテルエーテルケトン(PEEK)の表面化学状態変化をXPSを用いて検討した。ETFEでは、KrF光照射により炭化が起こり、ArF光照射によりカルボニル基、二重結合が生成した。この照射波長依存性は、KrF光照射では照射波長近傍にピークを持つ吸収バンドが生成することによるレーザーアブレーションが起こったためと結論した。またPEEKでは、ベンゼン環、エーテル基が減少し、代わってカルボキシル基が生成した。このうちベンゼン環(ポリマー単位中に3個)は、KrF光照射で一個開裂し、150J以上の照射でも変わらなかった。ArF光照射では、ベンゼン環は、KrF光照射よりも大きい速度で単調に減少した。

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