Kamiya, Tomihiro; Yuto, Hidenori; Tanaka, Ryuichi
宇宙用半導体素子のシングルイベント効果の機構解明及びヒット部位依存性評価のため製作された重イオンマイクロビーム装置は、マイクロビーム集束、ビーム照準及びシングルイオンヒットが可能なように設計されている。本装置の制御は、精密レンズ、ビームシフター、ファラデーカップ及びスリット等のビームライン機器の制御と、ビームスキャナー、2次電子検出器及びターゲットステージ等のターゲットシステムの制御に分けられ、それぞれ計算機を介して遠隔で行われる。このシステムを用いてビームサイズ計測やビーム照準が行われ、これまでに15MeVのNi
ビームで0.7
1.1
m
のスポットサイズが確認された。なお、シングルイオン検出器のオフラインでの調整が現在進められており、今後ターゲットシステムに組み込まれる予定である。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
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巻 |
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号 |
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ページ数 |
: | p.116 - 119 |
発行年月 |
: | 1992/07 |
発表会議名 |
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開催年月 |
: | 1992/07 |
開催都市 |
: | つくば |
開催国 |
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キーワード |
: | 宇宙用半導体素子; シングルイベント効果; 重イオンマイクロビーム; 制御; ビームライン機器; ターゲットシステム; ビームサイズ計測; ビーム照準; スポットサイズ; シングルイオン検出器 |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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Altmetrics |
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