重イオンマイクロビーム装置のシングルイオンヒットシステム

Single ion hit system in heavy ion microbeam apparatus

Kamiya, Tomihiro; not registered; Tanaka, Ryuichi

宇宙用半導体素子におけるシングルイベント効果の基礎的な機構を解明するための重イオンマイクロビーム装置が開発された。本装置は高エネルギーの多種のイオンと1m以下に集束し、試料に1m程度の位置精度でビーム照準を行い、そこに単一イオンを打込むシングルイオンヒットを可能とするよう設計された。我々すでに15MeVNiイオンビームで1nのビームサイズを達成しており、現在ビーム照準とシングルイオンヒットの技術開発を進めている。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	第3回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム
巻	:
号	:
ページ数	:	p.453 - 456
発行年月	:	1992/00
発表会議名	:	3rd Symp. on Beam of Advanced Materials Synthesis
開催年月	:	1992/11
開催都市	:	東京
開催国	:
キーワード	:	宇宙用半導体素子; シングルイベント効果; 重イオンマイクロビーム装置; シングルイオンヒット; ビームサイズ; ビーム照準

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登録番号 : B19920927
抄録集掲載番号 : 210105
論文投稿番号 : 11498

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