電子ビーム加熱蒸発部生成プラズマ中イオンの価数

Ionic charge of ions in plasma generated at electron beam evaporation source

柴田 猛順; 小倉 浩一; 大場 弘則  

Shibata, Takemasa; Ogura, Koichi; Oba, Hironori

電子銃加熱で原子ビームを生成させると蒸発部でプラズマが生成する。著者等はガドリニウム蒸発時のプラズマの電子温度、電離度を報告している。ここではさらにドリフト速度と電荷分布を測定した。プラズマ内に置いた電極にパルス的に負電圧を印加すると、プラズマ密度が薄くなりこの部分がドリフト速度で上昇する。電極の上部に置いたラングミュアープローブのイオン電流はパルス電圧印加時の一定時間後減少する。この時間遅れよりドリフト速度を求めた。この速度は原子ビームの1.3~1.4倍であった。プラズマ内のイオンを四重極質量分析計で調べ電荷分布を求めた。多価イオンは検出されず、一価イオンのみであった。これはGdの多価イオンとGd原子の衝突で一価イオンのみになるためと思われる。

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