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KLL resonant auger electron emission from silicon compounds in solid phase

固体シリコン化合物からのKLL共鳴オージェ放出

馬場 祐治  ; 山本 博之; 佐々木 貞吉

Baba, Yuji; Yamamoto, Hiroyuki; Sasaki, Teikichi

固体シリコン化合物(Si単結晶、SiO$$_{2}$$、SiC)にSi1s近傍の放射光を照射し、内殻軌道から外殻の非占軌道への共鳴励起に伴うオージェ電子スペクトルを測定した。SiO$$_{2}$$から放出されるSiKL$$_{2,3}$$L$$_{2,3}$$オージェピークは、放射光のエネルギーがSi1s$$rightarrow$$Si3p共鳴吸収近くになると、終状態が+2価のノーマルオージェ電子と、終状態が+1価の共鳴オージェ電子の2本に分裂することを見出した。共鳴オージェ電子のピーク位置は、照射する放射光のエネルギー増加に比例して高エネルギー側にシフトする。一方、Si単結晶、SiCでは共鳴吸収近くの励起エネルギーにおいてもオージェピークの分裂は認められなかった。このような共鳴オージェ過程の差異について、非占軌道のエネルギー分布や価電子による内殻正孔のエネルギー緩和過程等との関連において議論した。

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分野:Chemistry, Physical

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