セラミックターボ型粘性真空ポンプの性能試験

Performance Test of a ceramic turbo-viscous pump

Abe, Tetsuya; Hiroki, Seiji; Murakami, Yoshio; not registered; not registered; not registered

核融合装置などの特殊分野で使用する耐磁場性等を有するセラミックターボ型粘性ポンプ(CT-3000H)(高真空から大気圧領域で動作する)の開発を進めている。今回、このCT-3000Hに対する各種評価試験結果について報告する。評価試験の主な項目と、その結果は以下の通りである。(1)最適回転数:22,000rpm(定格値確定),(2)最大排気速度:3.0m $^{3}$ /min(N $_{2}$ ),1.7m $^{3}$ /min(He),(3)最大連続排気流量:1.210 $^{3}$ Pam $^{3}$ /min(N $_{2}$ ),(4)最大動作圧力(連続運転可能圧力):1.310 $^{4}$ Pa

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	37
号	:	3
ページ数	:	p.161 - 164
発行年月	:	1994/00
発表会議名	:	第34回真空に関する連合講演会
開催年月	:	1993/10
開催都市	:	東京
開催国	:
キーワード	:	Turbo-viscous Pump; Si $_{3}$ N $_{4}$ Rotor; Ceramic Pump; Pumping Speed; CT-3000H

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.37.161
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登録番号 : B19930671
抄録集掲載番号 : 220460
論文投稿番号 : 12448

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