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Microstructural evolution of single crystalline Al$$_{2}$$O$$_{3}$$ irradiated with single and triple-ion beams

シングル及びトリプルビーム照射したAl$$_{2}$$O$$_{3}$$単結晶の微細組織挙動

片野 吉男; 中沢 哲也; 八巻 大樹; 野田 健治

Katano, Yoshio; not registered; Yamaki, Daiju; Noda, Kenji

酸化アルミニウム単結晶($$alpha$$-Al$$_{2}$$O$$_{3}$$)に水素、ヘリウム及び酸素イオンを同時照射し照射欠陥集合体の分布を透過電子顕微鏡観察により入射面から深さ方向の関数として調べた。トリプルビーム照射を650$$^{circ}$$Cで行った試料のキャビティの生成・成長は、水素イオン照射及びヘリウムと酸素イオンのデュアルビーム照射した試料に比べ、キャビティの分布領域が狭くなることを見い出した。このことからトリプルビーム照射では、高密度の照射欠陥集合体の形成に伴い水素原子やヘリウム原子の移動が抑制されたものと考えられる。

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分野:Materials Science, Multidisciplinary

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