Characterization of single-crystalline Cu/Nb multilayer films by ion beam analysis

イオンビーム解析法による単結晶Cu/Nb多層膜の構造解析

山本 春也; 楢本 洋; 土屋 文*; 青木 康

Yamamoto, Shunya; Naramoto, Hiroshi; Tsuchiya, Bun*; Aoki, Yasushi

本研究では、X線用ミラー等に応用が期待される多層膜材料の創製およびイオンビームを用いた構造解析法の開発を行っている。最近、我々のグループではサファイア単結晶基板上に電子ビーム蒸着法により単結晶NbおよびCu/Nb多層膜の成膜に成功した。本研究では電子線回折(LEED)を用いての単結晶層の成膜時の基板温度等の条件を調べ、さらにRBS/チャネリング等のイオンビーム解析法により多層膜の結晶性および結晶面方位の異なる基板上に成長するNbおよびCuの結晶面の関係を明らかにした。以上のことについて報告を行う。

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