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飛行時間測定法による低エネルギー中性粒子のエネルギー分析装置

Low energy neutral particle energy analyser by time of flight method

三浦 幸俊; 岡野 文範; 松崎 誼

Miura, Yukitoshi; Okano, Fuminori; Matsuzaki, Yoshimi

飛行時間測定法による低エネルギー(10eVから1000eV)中性粒子の測定原理の検討及び測定装置の設計検討を行った。飛行時間測定法に用いるチョッパーとしては、真空中で高速回転するターボ分子ポンプを改造して用いることとし、検出器としては光電子増倍管を改造して使用することで検討した。ターボ分子ポンプの回転数として40000rpm程度、チョッパーの半径を50mm、チョッパーのスリット幅を0.15mmとすると、飛行距離2mで1000eVのエネルギー分解能が20%以下とできるので、比較的小型の測定器となることが分った。

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