Coarsening dynamics and surface instability during ion-beam-assisted growth of amorphous diamondlike carbon

イオンビーム援用非晶質ダイアモンド状炭素薄膜を作製するときの表面粗大化のダイナミクスと不安定性

Zhu, X. D.; Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Narumi, Kazumasa; Miyashita, Kiyoshi*

フラーレンの蒸着と同時にイオン照射を行い、炭素同素体変換過程を含んだ蒸着とスパッターリングが競合するなかで誘起されるナノサイズのパターン形成について考察した論文である。通常炭素系非晶質に対するイオン照射では表面が平滑化するの通常の結論であるが、ここでは逆の結果が得られた。これは、フラーレンへのイオン照射による同素体変換によりどのような結合状態の炭素物質が核生成するかに依存することを示した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Physical Review B
巻	:	66
号	:	16
ページ数	:	p.165426_1 - 165426_5
発行年月	:	2002/10
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Ion-beam-assisted Deposition; Amorphous Carbon Film; Surface Topography; Sputtering; Surface Instability; Coarsening

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1103/PhysRevB.66.165426
研究データの公開先DOI	:
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広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:	群馬県工業試験場

Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：57.58 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : A20020387
抄録集掲載番号 : 310766
論文投稿番号 : 20279

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