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Coarsening dynamics and surface instability during ion-beam-assisted growth of amorphous diamondlike carbon

イオンビーム援用非晶質ダイアモンド状炭素薄膜を作製するときの表面粗大化のダイナミクスと不安定性

Zhu, X. D.; 楢本 洋; Xu, Y.; 鳴海 一雅; 宮下 喜好*

Zhu, X. D.; Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Narumi, Kazumasa; Miyashita, Kiyoshi*

フラーレンの蒸着と同時にイオン照射を行い、炭素同素体変換過程を含んだ蒸着とスパッターリングが競合するなかで誘起されるナノサイズのパターン形成について考察した論文である。通常炭素系非晶質に対するイオン照射では表面が平滑化するの通常の結論であるが、ここでは逆の結果が得られた。これは、フラーレンへのイオン照射による同素体変換によりどのような結合状態の炭素物質が核生成するかに依存することを示した。

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分野:Materials Science, Multidisciplinary

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