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X-ray photoelectron spectroscopy study on change of chemical state of diamond window by ion implantation

イオン照射されたダイヤモンド窓の化学状態変化に関するX線光電子分光法による研究

森本 泰臣*; 佐々木 政義*; 木村 宏美*; 坂本 慶司; 今井 剛; 奥野 健二*

Morimoto, Yasutomi*; Sasaki, Masayoshi*; Kimura, Hiromi*; Sakamoto, Keishi; Imai, Tsuyoshi; Okuno, Kenji*

核融合炉の高周波加熱・電流駆動装置では、高周波(電磁波)をトーラスに入射するための窓が不可欠で、その真空封止窓の材料として人工ダイヤモンドが注目されている。この人工ダイヤモンドのイオン照射や加熱による化学状態変化を、X線光電子分光法(XPS)により調べた。加熱前後のC 1sの結合エネルギーの変化から、高温加熱により、ダイヤモンド構造が、グラファイト化することが、明らかとなった。さらに、Ar$$^{+}$$照射により、化学状態が複雑な挙動を示すことがわかった。

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