ビーム応用

Application of beams

寺岡 有殿

Teraoka, Yuden

2004年秋季の応用物理学会における「ビーム応用」大分類で発表された講演内容を応用物理学会に報告した。それは、X線技術,電子顕微鏡,リソグラフィー,ビーム励起表面反応,イオンビーム一般,微小電子源,ビーム応用一般・新技術に関する最新の研究成果を含んでいる。

Contents of presentations in a research field of beam application at the fall meeting of applied physics in Japan were reported to the Japan Society of Applied Physics. They contain up-to-date research results on X-ray technologies, electron microscope technologies, lithography, surface reactions induced by beams, ion beam technologies, electron micro-sources and beam-related new technologies.