検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Energy loss of 1000keV electrons in thin silicon crystals as measured by high voltage electron microscopy

シリコン単結晶薄膜中における1000KEV電子線のエネルギー損失;超高圧電子顕微鏡による測定

土井 健治; 出井 数彦; 大津 仁; 富満 広

not registered; Izui, Kazuhiko; not registered; not registered

シリコン単結晶薄膜を透過した1000KeV電子線のエネルギー分析を、超高圧電子顕微鏡に設置したエネルギー分析器を用いて行なった。結晶は220ブラック反射の方位におかれ、結晶厚さをブラック反射の干渉高により求めた。1000$AA~10000AA$の厚さにおける透過電子線のエネルギースペクトルを測定した。測定結果の解析より損失確率の値(平均自由行路の逆数)がプラズモン励起、L殻X線励起についてそれぞれ0.52$$pm$$0.02$$times$$10$$^{-}$$$$^{3}$$$AA$^{-}$$$$^{1}$$、1.50+0.02$$times$$10$$^{-}$$$$^{3}$$$AA$^{-}$$$$^{1}$$と求められた。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.