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Surface erosion of pyrolytic graphite and glassy carbons by ion bombardment

Ar$$^{+}$$,N$$^{+}$$及びHe$$^{+}$$イオンを照射したpyro-graphiteの表面トポグラフィ

数又 幸生

Kazumata, Y.

Pyrolyic Graphiteに、Ar$$^{+}$$,N$$^{+}$$及びHe$$^{+}$$イオンを照射し、表面の変化を走査電子顕微鏡で観察した結果、下記の特徴的な変化が観測された。(1)Groovesとflakingが、観測され、通常、金属表面で観測されているDome型のblisterは、観測されなかった。(2)Grooves及びしわのnetworkが、生ずるminimum dosesは、450KeV Ar$$^{+}$$イオンに対して、1$$times$$10$$^{1}$$$$^{4}$$ions/cm$$^{2}$$,1.1MeV N$$^{+}$$イオンでは、1$$times$$10$$^{1}$$$$^{5}$$ions/cm$$^{2}$$であり、また1.9MeV He$$^{+}$$イオン照射では、1$$times$$10$$^{1}$$$$^{6}$$ions/cm$$^{2}$$であった。Flakingは、上記の各イオンについて、上記の値より、1桁高い照射量で起こった。(3)He$$^{+}$$イオンを照射した場合の、しわのnetworkは、N$$^{+}$$イオンを照射した場合に生成されるnetworkよりも、約14倍大きい。以上の実験実事より、flakingを生成するminimum dosesが、照射エネルギーの関数である事、及び、flakingの形成に、定格子の移動は、あまり重要でない事を明らかにした。

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