Reduction of erosion by blistering in molybdenum surface with a multi-groove microstructure

多条溝微細構造を有するモリブデン表面におけるブリスタリングによる浸食の低減化

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多結晶モリブデン試料の表面を100-400keVのエネルギーのヘリウムイオンで110 $^{1}$ $^{9}$ ions/cm $^{2}$ まで衝撃し表面の浸食の様子を調べた。用いた試料は電解研磨した平滑な面を有するものと、微細加工技術で多条溝構造を有するものである。多条溝の幅は3~6m、深さは2~3m程度である。多条溝構造を有する表面では表面の浸食が十分に低減化できるのに対し、平滑面ではブリスタリングによる浸食が激しい。この低減化へのクライテリオンを実験で実証した。またヘリウムの再放出量を上記の各試料について測定し、表面浸食の抑制のメカニズムとの関係で論じた。また同時にスパッタリング収率の低減にも役立つことを実験で確かめた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Nuclear Materials
巻	:	76-77
号	:
ページ数	:	p.240 - 246
発行年月	:	1978/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	多条溝微細構造; ブリスタリング; モリブデン; ヘリウムイオン; 100-400keV; ヘリウムの再放出量

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0022-3115(78)90147-2
研究データの公開先DOI	:
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広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : A19788106
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 5145

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