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Dose and microstructural effects on surface topography change and sputtering yield in polycrystalline molybdenum bombardment with 2keV Ne$$^{+}$$ ions

2KeV Ne$$^{+}$$イオン照射による、多結晶モリブデンの表面形状変化及びスパッタリング収率におよびす照射効果及び試料効果の研究

山田 礼司; 西堂 雅博; 曽根 和穂; 大塚 英男

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2KeV Ne$$^{+}$$イオンを用いて、多結晶モリブデンのスパッタリング収率の測定及び表面形状変化を観察した。その際に用いたモリブデンは3種で、サンプル製作法による効果もあわせて調べた。それによれば、照射量が増加するに従いモリブデン試料表面には、局在化した円維状のコーンが発生した。それらの分布は、サンプル製作法に強く依存した。照射前の試料の化学エッチングにより見出されるエッチピットの分布の関連性から、コーン生成の機構について論じた。表面形状が著しくサンプル製作法に依存するにもかかわらず、巨視的なスパッタリング収率(重量法で求めた。)はサンプル作成法にはよらず、Ne$$^{+}$$2keVイオン重直入射の場合0.90$$pm$$0.10atoms/ionの値を得た。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Journal of Nuclear Materials

巻

 :

82

号

 :

1

ページ数

 :

p.155 - 162

発行年月

 :

1979/00

発表会議名

 :

開催年月

 :

開催都市

 :

開催国

 :

キーワード

 :

Dose Effects; Characterization; Sputtering; Mollybdenum; Topography; Neon

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

 :

https://doi.org/10.1016/0022-3115(79)90048-5

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

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広報プレスリリース

 :

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