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ヘリウムスニッファ法による漏れ探知技術の改良

Improvement of helium sniffing method for locating fine leaks

村上 義夫; 下村 安夫; 阿部 哲也 ; 小原 建治郎

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大型真空容器の漏れ探しに使用するための新しいヘリウムスニッファ法について述べた。従来ヘリウムスニッファ法では微少な漏れの探知が難しいといわれていたが、本方法では、ヘリウムリークディテクタの直前に内径約0.6mm,長さ約10mのフレキシブルなステンレス鋼製細管と77Kに冷却したモレキュラーシーブ封入容器を直列に設けることにより、プローブノズルからの気体(空気)吸入量を従来法の約1000倍の0.1Pa・m$$^{3}$$/s程度まで増加させることができるようになり、10$$^{-}$$$$^{1}$$$$^{1}$$Pa・m$$^{3}$$/sの微小な漏れの検知も可能となった。装置設計に関して二三の考察を行った。

no abstracts in English

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