大電流イオン注入装置によるTiNコーティング

TiN coating formed by larged current ion mplantation machine

not registered; not registered; not registered; not registered

金属の耐熱・耐摩耗性を向上させる目的で、蒸着とイオンビーム照射が同時にできるバケット型大電流イオン源を開発した。この装置を用いて、材料表面(SUS304)に電子ビーム蒸着法によりチタンを約3000及び3m蒸着した後、N $^{+}$ イオン照射を行いTiN膜を作製した。イオンの照射条件は加速電圧20keV、N $^{+}$ イオン電流最大0.4Aで、真空度1.8610 $^{-}$ $^{2}$ Paである。作製した膜の硬さはイオン注入量510 $^{1}$ $^{8}$ ions/cm $^{2}$ のとき最大となり、約2倍硬度の上昇をみた。耐摩耗性も同様な結果を得た。

no abstracts in English

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	29
号	:	9
ページ数	:	p.428 - 433
発行年月	:	1986/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	TiN; Implantation; Ion Beam; Coating

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.29.9_428
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:
Altmetrics	:

登録番号 : A19866061
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 7902

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.