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論文

大電流イオン注入装置によるTiNコーティング

竹本 正勝*; 鷹野 一郎*; 磯部 昭二*; 北條 喜一

真空, 29(9), p.428 - 433, 1986/00

https://doi.org/10.3131/jvsj.29.9_428

金属の耐熱・耐摩耗性を向上させる目的で、蒸着とイオンビーム照射が同時にできるバケット型大電流イオン源を開発した。この装置を用いて、材料表面(SUS304)に電子ビーム蒸着法によりチタンを約3000$AA$及び3$$mu$$m蒸着した後、N$$^{+}$$イオン照射を行いTiN膜を作製した。イオンの照射条件は加速電圧20keV、N$$^{+}$$イオン電流最大0.4Aで、真空度1.86$$times$$10$$^{-}$$$$^{2}$$Paである。作製した膜の硬さはイオン注入量5$$times$$10$$^{1}$$$$^{8}$$ions/cm$$^{2}$$のとき最大となり、約2倍硬度の上昇をみた。耐摩耗性も同様な結果を得た。

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