Ion bombardment- and temperature-assisted incorporation of oxygen in molybdenum

モリブデンにおける酸素の照射促進取り込みおよび温度促進取り込み

酸素雰囲気におけるモリブデンのスパッタリング過程を明らかにするために、気相系から取り込まれる酸素の量および深さ分布を二次イオン質量分析法により測定した。気相系からの酸素の取り込みは、試料温度を高くすると促進されること、また、イオンビームの同時照射によって促進されることが実験的に明らかになった。前者は、熱拡散が、又、後者の場合には、照射によって生成された格子欠陥の拡散が、酸素の気相系からの取り込みを促進していることが実験結果の解析より判明した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	28
号	:
ページ数	:	p.540 - 547
発行年月	:	1987/00
発表会議名	:
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キーワード	:	Oxgyen-uptake; Defect-enhanced Diffusion; Thermal Diffusion; Molybdenum; Oxygen Incorporation Yield; SIMS

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0168-583X(87)90500-3
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：76.82 分野：Instruments & Instrumentation
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登録番号 : A19866403
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 8425

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