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西堂 雅博; H.L.Bay*; H.Gnaser*; W.O.Hofer*; J.Bohdansky*; J.Roth*
Journal of Nuclear Materials, 145-147, p.387 - 390, 1987/00
被引用回数：1 パーセンタイル：19.33(Materials Science, Multidisciplinary)高融点金属(INTOR用ダイバータ板候補材料)であるモリブデンの酸素雰囲気における高温(500
C付近)でのスパッタリング特性を調べた。軽イオン(He
,D)によるスパッタリング収率は重量法により、He照射によるスパッタ粒子放出角度分布は堆積法により、また、Ar照射によるスパッタ粒子の構成粒子分布は質量分析法によりそれぞれ測定した。 500C付近のAr照射で観測される酸素圧の上昇に伴なう損耗率の増加はMoO
の形で照射誘起蒸発する過程が、新らたにつけ加わるために起こることが判明した。 一方、軽イオン照射による高温でのスパッタリング収率の酸素依存性は、室温でのそれから若干異なるが、Ar照射の場合にみられた損耗率の増加という顕著な違いはみられないことがわかった。
西堂 雅博; H.Gnaser*; W.O.Hofer*
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 28, p.540 - 547, 1987/00
被引用回数：11 パーセンタイル：76.82(Instruments & Instrumentation)酸素雰囲気におけるモリブデンのスパッタリング過程を明らかにするために、気相系から取り込まれる酸素の量および深さ分布を二次イオン質量分析法により測定した。気相系からの酸素の取り込みは、試料温度を高くすると促進されること、また、イオンビームの同時照射によって促進されることが実験的に明らかになった。前者は、熱拡散が、又、後者の場合には、照射によって生成された格子欠陥の拡散が、酸素の気相系からの取り込みを促進していることが実験結果の解析より判明した。
西堂 雅博; H.Gnaser*; W.O.Hofer*
Applied Physics A, 40, p.197 - 202, 1986/00
被引用回数：22 パーセンタイル：72.76(Materials Science, Multidisciplinary)酸素雰囲気におけるモリブデンのスパッタリング特性について、スパッタリングによって放出される中性粒子および二次イオンの質量分析を行なうことにより調べた。照射イオンとして、8keVArイオンを使用し、照射は、2つの異なる温度、25Cと485Cで行なった。高い温度で起こるスパッタリング収率の特徴的な増加は、ビーム誘起脱離によるMoO及び衝突カスケードによるMoOそれぞれの放出量の増加に起因することが判明した。また、同時に、酸素の取り込み量について測定したが、ビーム照射と熱拡散に起因して表面附近に取り込まれる気相系からの酸素の量は、25Cの場合に比べて、高い温度では、増加することが判明した。
H.Gnaser*; 西堂 雅博; J.von.Seggern*; W.O.Hofer*
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 15, p.169 - 172, 1986/00
被引用回数：15 パーセンタイル：83.33(Instruments & Instrumentation)代表的な表面分析装置の1つである二次イオン質量分析装置を改造した二次イオン質量分析/スパッタ原子質量分析装置(SIMS/SNMS装置)の特性評価を行う目的で、モリブデンおよびインジウム金属からスパッタ放出されるスパッタ原子および二次イオンの酸素雰囲気下における放出挙動について調べた。 得られた実験結果は以下の事柄を支持している。 SIMS測定は定量性には欠けるが、感度が良い。一方SNMS測定は、その感度はSIMS測定より1~2桁低いが、定量性が良い。従って、両方の利点を生かした表面分析装置であるSIMS/SNMS装置は、感度の良い、しかも定量性のある測定が可能である。
