西堂 雅博; H.L.Bay*; J.Bohdansky*; J.Roth*
not registered; H.L.Bay*; J.Bohdansky*; J.Roth*
モリブデンの酸素雰囲気下におけるスパッタリング特性を調べた。 照射イオンとして、重水素イオンおよびヘリウムイオンを使用し、測定として、重量法によるスパッタリング率測定およびコレクター法によるスパッタ粒子の放出角度分布測定を行なった。 ヘリウムイオン照射の場合、酸素分圧の増加に伴って、スパッタリング率は減少し、元の値の約40~20%となる。又、放出角度分布は、酸素分圧依らず同じ分布を示した。 重水素イオン照射の場合、スパッタリング率は酸素分圧に依らず、一定の値をとる。これは、表面で打ち込まれた重水素と酸素とが反応し、D
Oを生じ、これが脱離するため、酸素の効果が弱められていることを示している。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 13 |
号 |
: | |
ページ数 |
: | p.403 - 407 |
発行年月 |
: | 1986/00 |
キーワード |
: | Molybdenum; Sputtering; Helium Ion; Deuterium Ion; Weight Loss; Oxygen Exposure; Angular Distribution |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：79.79 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
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