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Oxygen exposure effect on sputtering yield and angular distribution for light-ion irradiation of polycrystalline molybdenum

多結晶モリブデンの軽イオン照射に対するスパッタリング率およびスパッタ放出角度分布におよぼす酸素の影響

西堂 雅博; H.L.Bay*; J.Bohdansky*; J.Roth*

not registered; H.L.Bay*; J.Bohdansky*; J.Roth*

モリブデンの酸素雰囲気下におけるスパッタリング特性を調べた。 照射イオンとして、重水素イオンおよびヘリウムイオンを使用し、測定として、重量法によるスパッタリング率測定およびコレクター法によるスパッタ粒子の放出角度分布測定を行なった。 ヘリウムイオン照射の場合、酸素分圧の増加に伴って、スパッタリング率は減少し、元の値の約40~20%となる。又、放出角度分布は、酸素分圧依らず同じ分布を示した。 重水素イオン照射の場合、スパッタリング率は酸素分圧に依らず、一定の値をとる。これは、表面で打ち込まれた重水素と酸素とが反応し、D$$_{2}$$Oを生じ、これが脱離するため、酸素の効果が弱められていることを示している。

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