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西堂 雅博; H.L.Bay*; H.Gnaser*; W.O.Hofer*; J.Bohdansky*; J.Roth*
Journal of Nuclear Materials, 145-147, p.387 - 390, 1987/00
被引用回数:1 パーセンタイル:19.33(Materials Science, Multidisciplinary)高融点金属(INTOR用ダイバータ板候補材料)であるモリブデンの酸素雰囲気における高温(500C付近)でのスパッタリング特性を調べた。軽イオン(He,D)によるスパッタリング収率は重量法により、He照射によるスパッタ粒子放出角度分布は堆積法により、また、Ar照射によるスパッタ粒子の構成粒子分布は質量分析法によりそれぞれ測定した。 500C付近のAr照射で観測される酸素圧の上昇に伴なう損耗率の増加はMoOの形で照射誘起蒸発する過程が、新らたにつけ加わるために起こることが判明した。 一方、軽イオン照射による高温でのスパッタリング収率の酸素依存性は、室温でのそれから若干異なるが、Ar照射の場合にみられた損耗率の増加という顕著な違いはみられないことがわかった。
西堂 雅博; H.L.Bay*; J.Bohdansky*; J.Roth*
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 13, p.403 - 407, 1986/00
被引用回数:12 パーセンタイル:79.75(Instruments & Instrumentation)モリブデンの酸素雰囲気下におけるスパッタリング特性を調べた。 照射イオンとして、重水素イオンおよびヘリウムイオンを使用し、測定として、重量法によるスパッタリング率測定およびコレクター法によるスパッタ粒子の放出角度分布測定を行なった。 ヘリウムイオン照射の場合、酸素分圧の増加に伴って、スパッタリング率は減少し、元の値の約40~20%となる。又、放出角度分布は、酸素分圧依らず同じ分布を示した。 重水素イオン照射の場合、スパッタリング率は酸素分圧に依らず、一定の値をとる。これは、表面で打ち込まれた重水素と酸素とが反応し、DOを生じ、これが脱離するため、酸素の効果が弱められていることを示している。