Performance test of a ceramic rotor developed for turbo-molecular pumps for fusion use

核融合用ターボ分子ポンプのために開発したセラミック回転体の性能試験

村上 義夫; 阿部 哲也 ; 森井 茂樹*; 中石 信義*; 泰 聰*

Murakami, Yoshio; Abe, Tetsuya; Morii, Shigeki*; Nakaishi, N.*; Hata, S.*

核融合装置の真空排気系には金属製回転翼からなるターボ分子ポンプが広く使用されている。しかし、これを高磁場中で使うときには、回転翼に渦電流が流れ、発熱や回転速度の低下を招くという問題がある。 この問題を解決するために、筆者らは電気絶縁体の焼結窒化珪素からなるターボ分子ポンプ用のセラミック回転体を試作した。回転体はガスベアリングで保持され、ガスタービンで駆動される。また非接触のネジシールによりポンプ内への作動ガスの逆流を防止している。非接触シールの逆流量測定、0.1テスラまでの磁場中回転試験、回転体の強度評価のための破壊試験などを実施し、基本的な性能を明らかにした。

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