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Dynamic behavior of bubbles and blisters in aluminum during helium ion irradiation in an electron microscope

電顕内イオン照射によりアルミニウム中に形成されるヘリウムバブルおよびブリスターの動的挙動

古野 茂実; 北條 喜一; 出井 数彦; 神垣 信生*; 紀 隆雄*

not registered; not registered; Izui, Kazuhiko; not registered; not registered

電顕に付設したイオン照射装置と動的観察装置を用いて、He$$^{+}$$イオンを照射しながら、アルミニウム中に形成されるバブルおよびブリスターのその場の観察を行った。室温照射では、バブルの成長、合体は認められないが、300$$^{circ}$$C照射の場合、フラックスのいかんに係わらず、照射量が10$$^{1}$$$$^{7}$$ions/cm$$^{2}$$を越える頃からバブルの成長が急速になり、合体し、破裂する。その破裂跡に再びバブルが形成され、成長、合体、破裂する。以上の過程をくり返すことを明らかにした。また電子エネルギー損失分析装置を用いて、バブル中のヘリウムガスの濃度を測定した。以上の結果を報告する。

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分野:Materials Science, Multidisciplinary

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