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Ion beam analysis on radiation damage and light impurities at near surface region

固体表面領域における放射線損傷と軽イオン不純物のイオンビーム解析

楢本 洋; 小沢 国夫

not registered; Ozawa, K.

固体表面近傍に局在する照射損傷と軽元素不純物に関する構造解析手段として有用な核反応を利用したイオンビーム解析法に関する総合報告を行なう。弾性反跳粒子検出法、エネルギー分析型核反応法および共鳴型核反応法をラザフォード散乱と組合せた場合に得られる情報の典型として、軽元素の熱振動振幅、結晶学的占有位置、照射欠陥と軽元素不純物の結合エネルギー、水素同位体の置換反応等について議論する。

no abstracts in English

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