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プラズマ流中の不純物の分光測定(I)

Spectroscopic measurements of impurities in the plasma stream

井上 堅司; 森 茂; 田中 正俊

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同軸型プラズマ・ガンでつくられるプラズマ流の中には、各種の不純物が混入しているものと思われるが、特にガンの電極材料の銅と拡散ポンプの油が主なものと考えられる。これらの不純物の検出のため、時間分解分光測定により、CuII2192,CuII2247,CII4267等不純物イオンの放出するスペクトル線の観測によりその振舞いを調べた。また、HeII4686との同時測定により、プラズマ・ガンの運転条件によるCuII2192,CuII2247等とHeII4686との線強度比の変化を調べた。

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