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ヘリウムイオン衝撃した多結晶モリブデン表面の同時連続観察

Simultaneous and Continuous Observetions of Helium Bombarded Surfaces of Polycrystalline Molybdenum

西堂 雅博; 曽根 和穂; 山田 礼司; 大塚 英男

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昭和53年5月に設置した同時観察装置(走査型電子顕微鏡を真空壁の表面現象研究用加速器のビームラインに接続した装置)を用いて、100keVヘリウムイオン衝撃した多結晶モリブデンの同時連続観察をおこなった。あらかじめヘリウムの打ち込まれた試料(照射率4.4$$times$$10$$^{1}$$$$^{7}$$He$$^{+}$$/cm$$^{2}$$)では、熱処理後の再照射によって表面侵食の形態が、表面の脹れ(Blistering)から大面積剥離(Exfoliation)へと顕著に移行することが判明した。剥離現象はブリスターが時々刻々成長するのとは対照的に、瞬時に起きることが同時連続観察の結果明らかになった。実験結果から、プラズマ不純物の原因となる大面積剥離出現の過程について考察した。

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