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DLTS法によるゲルマニウム単結晶中の酸素原子を含む照射欠陥の研究

IRRADIATION INDECED DDEFECTS CONTAINING OXYGEN ATOMS IN GERMANIUM CRYSTALS AS STUDIED BY DLTS

福岡 登*; 神戸 祥之*; 斉藤 晴男*; 松田 光司

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酸素又はV族元素をドープしたゲルマニウム單結晶に電子線照射を行い、生じた欠陥の性質をDLTS法により調べた。また670K附近の熱処理により生じるthermaldonorの性質について調べた。酸素を含む複合欠陥によってEc-0.13eV及びEc-0.29eVに電子捕獲準位がが作られること、Ec-0.25eVに準位を作る欠陥は2種類あり、その一つはA-中心であることがわかった。670K附近の熱処理により生ずるthermaldonorがEc-0.23eV、及びEc-0.1eV準位をもつことがわかた。

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