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Data Compilation for Depth Distribution of Ion-Induced Damage and Ion-Implanted Atoms

イオン照射損傷及びイオン注入分布のデータ収集

寺澤 倫孝*; 中東 重雄*; 小沢 国夫

not registered; not registered; Ozawa, K.

イオン注入及び加速器イオン照射による中性子効果のシュミレーションなど固体へのイオン衝撃に関連して、固体中でのイオン飛程及び照射損傷の深さ分布などのデータベースが要求されている。本レポートでは、現在近述表されたイオン照射損傷(スエリング及び欠益又はクラスター)の深さ分布及び飛程、ストラグリングの実験データを可能な限り広範囲に収集し、E-DEP-1計算コードによる理論計算との比較を行った。データーベースとの比較でLSS理論の電子阻止能パラメータRLSSに対する補正係数(0.8~0.9)の議論と表かが得ている。尚Appendixとして、ぼいどすえりんぐ、点欠陥とそのクラスター及び注入イオンに関する図表とその文献がリストアップされている。

no abstracts in English

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