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重イオン用薄膜ターゲットの調製

Preparation of Thin Film Targets for Heavy Ions

立川 敏樹*; 西原 進*; 竹腰 英子

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重イオンによる原子核反応研究では(20~200)$$mu$$g/cm$$^{2}$$の薄いターゲットが必要である。このような薄井ターゲットは、薄いバッキング膜上にターゲット材料を真空蒸着して調製する。バッキング材料としては、炭素、アルミニューム、ニッケル、金などを用いる。バッキング材料が原子核反応研究上好ましくない時には、バッキングなしのセルフサポーティングターゲットを調製しなければならない。この報告書は、真空蒸着および重イオンスパッタリング法により、実際に調製したいくつかのターゲットの処方籤を収録したものである。

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