1-kW, capacitively coupled radio frequency discharge excited CO laser with a closed-cycle fast axial flow

1kw高速動流型容量性結合rf放電励起COレーザー

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rf(高周波)放電は、(1)均一な高密度励起を達成できる。(2)金属電極を使用しないため動作寿命が長い。(3)パルス動作が容易である等の多くの特長を有する。われわれは、高ビーム点・高安定のtkW波出力を得ることを目的に、本励起方式を高速軸流型COレーザーに適用した。装置励起部は放電管8本より成り、各々周波数13.56MHzの容量性結合rf放電を発生させ励起する。ガス組成CO/N $_{2}$ /He/O $_{2}$ =7.5/12.5/80/0.8、ガス温度160Kの条件で出力990Wが電気効率10.1%で得られた。出力800W時のビ-ム発散角は2mrad(全角)以下また出力変動は2.3%以内であった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Applied Physics Letters
巻	:	61
号	:	6
ページ数	:	p.621 - 623
発行年月	:	1992/00
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論文URL	:	https://doi.org/10.1063/1.107854
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：56.07 分野：Physics, Applied
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登録番号 : 09-1992-0013
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