SPM characterization of substrate surfaces prepared for carbon-related-film deposition

炭素系薄膜用蒸着基板表面のSPMによるキャラクタリゼーション

鳴海 一雅; 山本 春也; 楢本 洋

Narumi, Kazumasa; Yamamoto, Shunya; Naramoto, Hiroshi

空気中及び還元雰囲気中において、1000-1400、1-10時間の熱処理をしたサファイア表面の表面ステップを原子間力顕微鏡で観察した。熱処理した(0001)表面上では、いずれの条件においても原子レベルで滑らかなテラスと原子オーダーの段差を持つ表面ステップが観察されたが、ステップの形状は熱処理の条件に強く依存して変化した。(1120)表面においては、巨視的な表面と結晶学的な低指数面(1120)とのずれの角度が(0001)表面に比べると1桁程度大きく、高温・長時間の熱処理によって、原子オーダーの段差のステップをもつ表面構造から、より段差の大きいステップと広いテラスを持つ表面構造に変化することがわかった。原子配列の対称性による特徴的なステップの形状が(0001)表面において観察された。

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