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Design of a positron microprobe using magnetic lenses

磁気レンズを用いた陽電子顕微鏡の開発

前川 雅樹; Yu, R.; 河裾 厚男

Maekawa, Masaki; Yu, R.; Kawasuso, Atsuo

陽電子マイクロビームを用いることで、表面近傍に存在する空孔型欠陥の空間分布や微小領域の欠陥構造の評価が可能となる。現在、われわれは陽電子ビームを10$$mu$$m以下に収束し、試料の2次元顕微走査を行うビーム装置の開発を進めている。ビームの収束には、市販されている走査型電子顕微鏡(SEM)を用いる。最終的なビーム径を小さくするためには、入射ビームの径を小さくすることが重要である。そのために小型線源と高効率な固体希ガスモデレーターを利用した陽電子銃の開発と設計を行っている。また陽電子消滅寿命測定のために、高周波電界を用いたビームパルス化装置の設計も行っている。装置の製作に先立って、テストベンチでの収束陽電子ビームの形成と特性評価を行ったところ、陽電子線源として密封Na-22(有効径4mm)を用いた場合、10keVで80$$mu$$mのビーム径が得られた。これにより、有効径1mm以下の小型線源を利用することで10$$mu$$mのビーム径が達成できるものと推測される。

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パーセンタイル:73.32

分野:Physics, Atomic, Molecular & Chemical

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