)イオン生成におけるサポートガスの影響) ion generation山田 圭介; 大越 清紀 
; 齋藤 勇一; 水橋 清; 横田 渉
Yamada, Keisuke; Okoshi, Kiyonori; Saito, Yuichi; Mizuhashi, Kiyoshi; Yokota, Wataru
原子力機構TIARAの400kVイオン注入装置では、新たなイオン種としてCイオンビームの提供が可能となり、クラスターイオン照射効果の解明等の実験に利用されている。Cイオンの生成にはフリーマン型イオン源を用いているが、一般的なイオン種ではアーク電流の増加とともに増えるイオン電流が逆に減ってしまうなど振る舞いが異なり、通常のパラメータではビーム電流を最大にすることができない。そこで、Cイオン生成のためのイオン源パラメータの最適化と大電流化を目的としてNe, Ar及びXeの3種類のサポートガスについて、ガス流量(イオン源部真空度)とビーム電流の関係を測定した。その結果、ビーム電流はアーク放電が保たれる最少ガス流量付近で最大となること,同じ真空度ではXe, Ar, Neの順に大きくなることがわかった。これにより、質量数が大きいサポートガスの方がビーム電流を得られる可能性があると考えられる。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
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巻 |
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号 |
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ページ数 |
: | p.106 - 109 |
発行年月 |
: | 2007/01 |
発表会議名 |
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開催年月 |
: | 2006/07 |
開催都市 |
: | みどり |
開催国 |
: | 日本 |
キーワード |
: | no keyword |
論文URL |
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使用施設 |
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論文解説記事 |
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