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Low-density tin targets for efficient extreme ultraviolet light emission from laser-produced plasmas

低密度スズターゲットを用いたレーザー生成プラズマからのEUV光の高効率発生

奥野 智晴*; 藤岡 慎介*; 西村 博明*; Tao, Y.*; 長井 圭治*; Gu, Q.*; 上田 修義*; 安藤 強史*; 西原 功修*; 乗松 孝好*; 宮永 憲明*; 井澤 靖和*; 三間 圀興*; 砂原 淳*; 古河 裕之*; 佐々木 明

Okuno, Tomoharu*; Fujioka, Shinsuke*; Nishimura, Hiroaki*; Tao, Y.*; Nagai, Keiji*; Gu, Q.*; Ueda, Nobuyoshi*; Ando, Tsuyoshi*; Nishihara, Katsunobu*; Norimatsu, Takayoshi*; Miyanaga, Noriaki*; Izawa, Yasukazu*; Mima, Kunioki*; Sunahara, Atsushi*; Furukawa, Hiroyuki*; Sasaki, Akira

レーザー生成プラズマからのEUV光の発生効率に対する初期密度の影響について実験的及び理論的に解析した。Sn密度が固体の7%の低密度フォームターゲットを波長1$$mu$$mのYAGレーザーで照射する条件で、波長13.5nm, 2%帯域への変換効率が、固体ターゲットの場合の1.7倍(2.2%)まで向上することがわかった。効率の改善の理由は、ターゲットのマイクロストラクチャの効果及び、低密度化による膨張ダイナミックスの変化やオパシティの減少の効果,それによる発光スペクトルの狭窄化によると考えられる。

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パーセンタイル:10.67

分野:Physics, Applied

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