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高速クラスターイオンビーム衝撃によるHOPGからの正負二次イオンの測定

Measurement of secondary ion from HOPG bombarded by swift cluster ions

柴田 裕実*; 土田 秀次*; 伊藤 秋男*; 齋藤 勇一; 千葉 敦也; 神谷 富裕; 鳴海 一雅

Shibata, Hiromi*; Tsuchida, Hidetsugu*; Ito, Akio*; Saito, Yuichi; Chiba, Atsuya; Kamiya, Tomihiro; Narumi, Kazumasa

高速クラスターイオンと物質との相互作用では、単原子イオンの集合体として構成原子の個数に対して線形的に振る舞うのではなく、個数以上(正の線形性)、あるいは個数以下(負の線形性)の効果を与える。これらの効果のメカニズムを明らかにするため、TOF質量分析器を用いて炭素,アルミニウム及び金クラスターイオンとHOPG(高配向性熱分解炭素)標的との衝突で放出される正負の二次イオン測定をクラスターイオンの速度を変えて行った。その結果、二次イオン放出量において、イオンの速度がBohr速度以下の低速領域では、負の線形性が、またBohr速度以上の高速領域では正の線形性が観測された。これは、核的衝突が支配的な領域では負の効果が、また、電子的衝突が支配的な領域では正の効果が現れると考えると定性的に説明できることがわかった。

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