J-PARC 3GeVシンクロトロン真空システム向けピラニ真空計の開発

Pirani vacuum gauge for J-PARC 3GeV synchrotron vacuum system

黒岩 雅英*; 佐々木 優直*; 藤井 進*; 松本 信彦*; 荻原 徳男; 荒井 秀幸*

Kuroiwa, Masahide*; Sasaki, Masanao*; Fujii, Susumu*; Matsumoto, Nobuhiko*; Ogiwara, Norio; Arai, Hideyuki*

3GeVシンクロトロンの真空システムにおいては、ビーム運転中の排気にTMPを使用する。そこでは、TMPとフォアラインポンプを制御するための真空計としてピラニ真空計を使用する。そのため、この真空計のセンサーヘッドには、30MGyという耐放射線性を有すること、並びに、振動等の機械的強度が要求される。また、ノイズ環境に強い必要がある。建家の制約条件から、ケーブル長も150mとなる。このような要求にこたえるピラニ真空計を開発し、実用化した。具体的には、センサーヘッドには耐放射線性の実証されている部材のみを使用した。また、制御に関しては、ケーブルの長さ対策として4端子法を採用した。さらに、ノイズ対策としては、定電流方式を採用し、測定範囲の拡大対策としては、電流の切り替え方式を取り入れた。

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