Evaluation of stainless steel under tensile stress using positron microbeam

陽電子マイクロビームを用いた引っ張り応力下にあるステンレス鋼の評価

前川 雅樹; 薮内 敦; 河裾 厚男

Maekawa, Masaki; Yabuuchi, Atsushi; Kawasuso, Atsuo

われわれは陽電子マイクロビーム装置(最小ビーム径は1.9ミクロン)を開発した。これを用いることで微小試料の空孔型欠陥の測定が可能となる。この特性を活かし、高温・高圧・高応力下など極限状態にある試料の物性評価への応用を行っている。このような極限環境は、試料サイズが小さいほどより高精度に環境制御が可能となることが期待される。ここでは、引っ張り応力下で亀裂を生じた金属の応力印加状態での測定及び融点直下にある半導体試料の高温その場測定について計測した結果を報告する。

We have developed a positron microbeam based on the commercial scanning electron microscope. The minimum beam diameter 1.9 micron on target was confirmed. Using this, vacancy-type defects in the small area can be detected. This means that the positron microbeam has a great advantage for the measurement under the extreme condition, such as high temperature, high tensile stress, high electric field, high pressure and so on, because it become easier to apply such condition when the sample size was smaller. We have applied the positron microbeam for the sample under tensile stress and high temperature.