フッ化リチウム(LiF)放射線検出器によるEUVFELの集光スポット計測

Focal spot characterization of EUVFEL using a LiF crystal detector

福田 祐仁; Faenov, A. Y.; Pikuz, T. A.*; 大橋 治彦*; 仙波 泰徳*; 永園 充*; 登野 健介*; 富樫 格*; 矢橋 牧名*; 石川 哲也*

Fukuda, Yuji; Faenov, A. Y.; Pikuz, T. A.*; Ohashi, Haruhiko*; Semba, Yasunori*; Nagasono, Mitsuru*; Tono, Kensuke*; Togashi, Tadashi*; Yabashi, Makina*; Ishikawa, Tetsuya*

LiF放射線検出器を用いて、汎用集光システムによって集光された極端紫外自由電子レーザー(EUVFEL)の集光スポット形状の精密測定を行った。実験では、LiF放射線検出器を集光点付近に設置し、EUVFELをシングルショットで照射しながら、LiF放射線検出器をレーザービーム軸に沿って移動させた。レーザー照射によりLiF放射線検出器の表面にカラーセンターが生成し、集光スポット形状が記録される。測定の結果、スポット形状には収差による歪みが見られることが明らかになった。また、集光点(トランシット基準)よりも、上流側1mm付近に集光していた。また、集光スポットの中心付近ではLiF結晶のアブレーションが起こっていることを示唆するシグナルが得られた。

We have conducted detailed focused spot shape measurements for EUVFEL using a LiF crystal radiation detector. The single shot focused spot images were recorded on the LiF detector surface as a function of detector position. As a result, we found that the spot images were distorted due to aberrations, and that laser beam was focused about 1-mm up to the laser beam axis. Moreover, we found that the LiF crystal was ablated due to high intensity of the focused beam.