軟X線レーザーを集光照射した金属表面の観察

Observations of the material surfaces irradiated with the focused soft X-ray laser pulses

石野 雅彦; Faenov, A.*; 田中 桃子; 長谷川 登; 錦野 将元; 保 智己*; Pikuz, T. A.*; Inogamov, N. A.*; Zhakhovsky, V. V.*; Skobelev, I. Y.*; Fortov, V.*; Khohlov, V. A.*; Shepelev, V.*; 海堀 岳史; 越智 義浩; 今園 孝志; 河内 哲哉

Ishino, Masahiko; Faenov, A.*; Tanaka, Momoko; Hasegawa, Noboru; Nishikino, Masaharu; Tamotsu, Satoshi*; Pikuz, T. A.*; Inogamov, N. A.*; Zhakhovsky, V. V.*; Skobelev, I. Y.*; Fortov, V.*; Khohlov, V. A.*; Shepelev, V.*; Kaihori, Takeshi; Ochi, Yoshihiro; Imazono, Takashi; Kawachi, Tetsuya

軟X線レーザーによるアブレーションの理解を目的として、アルミニウム表面に軟X線レーザーを照射した。その照射痕を走査型電子顕微鏡で観察したところ、アブレーションとは異なる微細構造を持つ改質領域が形成されていることを確認した。この領域にはナノメートルオーダーの直径を持つ円錐状の構造物が多数確認できる。そして、この改質領域は軟X線レーザー波長の侵入長さと等しい深さを持つことも確認した。今回得られた結果は、軟X線レーザーによるアブレーション過程の理解だけでなく、軟X線レーザーの微細加工への応用にも重要な知見を与えるものと考えている。発表では、アルミニウムだけでなく、他物質を用いた観察結果も示す予定である。

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