レーザー誘起ブレイクダウン分光を用いた検査技術の開発

Development of inspection technique using laser induced breakdown spectroscopy

伊東 富由美; 西村 昭彦  ; 寺田 隆哉; 島田 幸洋

Ito, Fuyumi; Nishimura, Akihiko; Terada, Takaya; Shimada, Yukihiro

イメージ伝送ファイバとエネルギー伝送ファイバを組込んだ複合型ファイバとレーザー誘起ブレイクダウン分光(LIBS)を用いることにより、狭窄部分の観察を効率よく実施することが可能である。これにより、遠隔による成分分析が容易となる。加えて、酸化膜が金属表面に存在する場合、この酸素に起因するピークの有無により酸化膜の除去を確認することができる。さらに1パルスあたりの深さをあらかじめ計測しておくことにより、LIBSによる酸化膜の厚みを確認することが可能である。この技術は酸化膜だけでなく欠陥部の深さ等を確認することも容易となる。

An optical fiber coupling device for maintenance is developed. A function such as observation of target object by wide-angle image, and the technique such as the elemental analysis by spectroscope and laser are built in the very compact device. Therefore, this device would permit wide-angle image and laser processing at oppressive conditions. The target object was measured and observed by these functions. Finally, industry application of this device was discussed.