リチウムK発光計測のためのダイヤモンドライクカーボン膜を用いた高回折効率回折格子の設計

Design of high efficiency diffraction grating by use of diamond like carbon for the detection of Li-K emission

小池 雅人; 今園 孝志; 石野 雅彦; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 能登谷 智史*; 村野 孝訓*

Koike, Masato; Imazono, Takashi; Ishino, Masahiko; Nagano, Tetsuya*; Sasai, Hiroyuki*; Oue, Yuki*; Kuramoto, Satoshi*; Terauchi, Masami*; Takahashi, Hideyuki*; Notoya, Satoshi*; Murano, Takanori*

リチウムイオンが充・放電に伴い正・負極材に出入りした際の化学結合状態に関する情報は、K殻電子が励起された際、価電子帯電子の緩和過程で放出される22.8nm(54.3eV)のLi-K発光近傍を分光計測することで得ることができる。本研究では、放射光ビームラインや電子顕微鏡に搭載可能な回折格子分光器において、高感度Li-K発光スペクトル計測を実現するために、標準的な表面物質であるAu膜が積層された回折格子の上に通常の炭素(C)膜(密度: 2.2g/cm)、または、フィルタードアーク法で積層できる高密度ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜(Tetrahedral amorphous carbon、密度: 3.1g/cm)を付加し、回折効率の向上を目指した多層膜回折格子の設計を行った。

The information about the chemical bond state when lithium ion went in and out of anode and cathode materials can be obtained by the measurements of Li-K emission of light around 22.8 nm (54.3 eV) released in the mild process of the valence band electron when a K-shell electron was activated. Conventinal amorphous carbon (C) film (density: 2.2 g/cm) or a high-density diamond like carbon (DLC) film (Tetrahedral amorphous carbon, density: 3.1 g/cm) was deposited on the diffraction gratings which the Au film which is a standard surface material to realize high sensitivity Li-K emission spectrum measurement. The DLC can be doposied by filtered arc method. In this paper we describe the design of the multilayered diffraction grating aiming at improvement of the diffraction efficiency.