Demonstration of the high collection efficiency of a broadband Mo/Si multilayer mirror with a graded multilayer coating on an ellipsoidal substrate

グレーディッド多層膜を楕円基板にコートした広帯域Mo/Siミラーの高い集光効率の実証

市丸 智*; 竹中 久貴*; 並河 一道*; Gullikson, E. M.*; 圓山 桃子; 奥 哲*

Ichimaru, Satoshi*; Takenaka, Hisataka*; Namikawa, Kazumichi*; Gullikson, E. M.*; Maruyama, Momoko; Oku, Satoshi*

EUV分光のための広帯域Mo/Siグレーディッド多層膜ミラーを製作した。このミラーは、波長15nm17nm、有効エリア11001500mmにおいて平均16%という、直径1インチの標準的なMo/Si多層鏡より約4倍大きい反射率を有しており、この波長領域でのEUV蛍光計測に使用可能であることを示している。

A graded and broadband Mo/Si multilayer mirror for EUV spectroscopy is demonstrated. This mirror has an average reflectivity profile of 16% in the wavelength region from 15 nm to 17 nm and an effective area of 1100 - 1500 mm. This reflectivity is about 4 times larger than that of a standard Mo/Si multilayer mirror on a 1 in. diameter substrate, showing that the mirror can be used for measuring EUV fluorescence at wavelengths in the region around 15 nm to 17 nm.