Surface chemistry experimental station at Soft X-ray beamline (BL23SU) in SPring-8

SPring-8の軟X線ビームライン(BL23SU)の表面化学実験ステーション

吉越 章隆 

Yoshigoe, Akitaka

放射光を使ったXPSは、半導体製造プロセスや触媒反応など表面化学反応のリアルタイム観察に強力な手法である。本シンポジウムでは、IV族半導体単結晶表面の酸化機構の研究を例として紹介し、SPring-8の軟X線ビームライン(BL23SU)の表面化学実験ステーションにおける研究活動および潜在的な利用研究への応用の可能性などを議論したい。

Synchrotron radiation based X-ray photoelectron spectroscopy (SR-XPS) is a powerful tool to conduct real time monitoring of surface chemical reactions such as semiconductor manufacturing processes and catalysis. In this symposium, the studies on oxidation mechanisms at the single crystal surfaces of IV-group semiconductor (Si and Ge) materials will be shown as an example to describe the research activities and the potential advantages for surface chemistry experimental station at the soft X-ray beamline (BL23SU) in SPring-8.