超高真空表面プロセス研究に向けたガス精密制御の自動化

Automatic pressure control toward UHV surface process researches

阿路川 雄介*; 山本 幸男*; 吉田 光; 吉越 章隆 

Ajikawa, Yusuke*; Yamamoto, Yukio*; Yoshida, Hikaru; Yoshigoe, Akitaka

超高真空の表面反応実験では微量制御が不可欠であり、通常手動によるバリアブルリークバルブによって行われてきた。マルチ計測・制御には手動制御には限界がある。他方、自動制御には実験者への負担軽減や再現性の向上など導入メリットは極めて大きい。本報告では、バリアブルリークバルブの開閉に自動制御を開発し、10Paから10Paまでの任意の圧力制御を実現したので報告する。

A very small amount of gas control was indispensable for surface reaction experiments under ultrahigh vacuum conditions. Normally, it has been performed with a variable leak valve by the manual operation. However, the manual operation can not apply for advanced experiments such as multi-measurements. The automatic precise valve control would lead to the burden reduction and reproducible improvement. The antomatic control also has a metrit to avid the loss of control for the apparatus. In this conference, we will report recent developments of the automatic pressure control system and some results of precise pressure control from 10 to 10 Pa.