レーザーによる半導体・誘電体の励起過程の観測とその利用の新展開,2; 膜剥離ダイナミクスから見た透明材料のフェムト秒レーザーアブレーションにおける非熱効果の研究

New progress in the observation and application of the laser-plasma in the semiconductors and dielectrics, 2; Study of non-thermal effects on femtosecond laser ablation of transparent dielectrics through the measurements of spallation dynamics

熊田 高之   

Kumada, Takayuki

フェムト秒レーザーを用いた精密加工技術の高度化を目指す上で膨張波が引き起こす剥離現象(非熱効果)の理解が欠かせない。我々は破壊測定ながら数万ショットの積算測定ができる高感度時間分解反射率装置を開発して、これまで金属・半導体材料でしか報告されていなかった非熱効果による膜剥離現象を透明材料においても新たに観測することに成功した。大方の予想に反し、剥離膜は耐熱材料である溶融石英のみならず熱耐性の低い透明高分子材料においても明瞭に観測されている。両材料の高い高温粘性が熱による膜の断片化を抑制したものと考えられる。

We have developed time-resolved reflectivity measurement system using femtosecond laser pulses, which can measure structure of thin films generated by non-thermal effect.