Study of the neutron absorbers materials coated on the back side of analyzer silicon crystal wafer

エネルギー解析用シリコン結晶ウエハの背面にコーティングした中性子吸収材料の研究

柴田 薫  

Shibata, Kaoru

シリコン結晶アナライザーは、高エネルギー分解能の中性子非弾性後方散乱分光器の重要な分光デバイスで、その仕様は、分光器のエネルギー分解能とバックグラウンドを決定すると考えられている。エネルギー分解能を低下させることなく高S/N比のスペクトル測定を達成するために、構成するシリコンウエハの裏面に中性子吸収材料をコーティングした新しいシリコン結晶アナライザーを独自に新規開発・製作した。これを、J-PARCセンター物質生命科学実験施設のパルス中性子源に設置したダイナミクス解析装置DNA分光器の結晶アナライザーに使用して目的の性能を達成することが確認できた。

The silicon crystal analyzer is an important spectroscopic device for high energy resolution neutron inelastic backscattering spectrometer. Specification of this spectroscopic device is thought to determine energy resolution and background. In order to achieve a low background spectrum without degradation of the energy resolution, it was developed new crystal analyzer which were constracted by Si wafers coated by thin film of neutron absorbers on the back side of Si wafer, and used it for the new backscattering spectrometer DNA in MLF at J-PARC which were able to achieve the desired performance.